| 摘要 |
【課題】電子部品を冷却する複数のユニット（部材）の冷却条件を各々設定することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品が載置され、前記電子部品を冷却可能な第１載置部と、前記電子部品が載置され、前記電子部品を冷却可能な第２載置部と、を有し、前記第１載置部の冷却条件と前記第２載置部の冷却条件とを各々設定可能である。また、電子部品搬送装置は、前記電子部品を把持可能で、前記電子部品を冷却可能な第１アームと、前記電子部品を把持可能で、前記電子部品を冷却可能な第２アームと、を有し、前記第１アームの冷却条件と前記第２アームの冷却条件とを各々設定可能である。【選択図】図１ |
