摘要 |
【課題】信号出力の信号歪みを効果的に防止し、信号出力が機械的に更に安定となる圧電型圧力センサの提供。【解決手段】圧力プロファイルを検出するための膜21と、検出された圧力プロファイルによって分極電荷を生成する圧電センサ22と、生成された分極電荷を信号として電荷出力部23.2を介して送受信する電極配列部23と、電気接続要素43,53及び電気信号導体41.1,51.1とを備える圧電型圧力センサ1。電気接続要素43,53が電気信号導体41.1,51.1に電気的及び機械的に接続され、電荷出力部23.2が、特定の領域で電気接続要素43,53に接続され、電気接続要素43,53を通じて信号を電気信号導体41.1,51.1へ送るようになっている。【選択図】図3 |