| 摘要 |
【課題】歪点が高く、低粘性、特にガラス粘度が１０4ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ4が低い無アルカリガラス基板を仕上げ研磨する際に、少ない研磨量で、基板表面に存在する微小な凹凸やうねりを除去できる、無アルカリガラス基板の仕上げ研磨方法、および、該方法により仕上げ研磨された無アルカリガラス基板の提供。【解決手段】研磨砥粒として酸化セリウムを含む研磨スラリを用いて、ガラス基板の主面を研磨する、ガラス基板の仕上げ研磨方法であって、前記ガラス基板の組成が、下記の無アルカリガラスであり、前記ガラス基板の主面の２０ｍｍピッチのうねりに換算したうねりの高さが０．１４μｍから０．１０μｍまで変化する際の前記ガラス基板の研磨量をＸ（μｍ）とするとき、０．０４／Ｘが０．１２以上となる条件で研磨する段階を含む、ガラス基板の仕上げ研磨方法。【選択図】なし |
