| 摘要 |
【課題】川幅方向に寸法の大きい幅広基板でも平面度を高精度に維持しつつ搬送することができる基板浮上搬送装置を提供する。【解決手段】搬送方向に延び、基板浮上面上に基板を浮上させる浮上ステージ部と、基板浮上面上に浮上した基板を保持する基板保持部と、を備え、基板浮上面上に浮上した状態の基板を保持した状態で基板保持部が搬送方向に沿って移動することにより、基板が基板浮上面上に浮上した状態で搬送される基板浮上搬送装置において、浮上ステージ部と基板保持部との間には、基準サイズの基板よりも搬送方向と直交する川幅方向寸法が大きい幅広基板を搬送する場合に、基板浮上面から川幅方向にはみ出す幅広基板のはみ出し領域を浮上させる補助浮上支持部を備える構成とする。【選択図】図３ |
