| 摘要 |
【課題】各光変調部分の温度変化に対する動作点変動を抑制し、かつ、各光変調部分間のΔｂｉａｓの差が大きくなるのを抑制することが可能な光変調器を提供する。【解決手段】電気光学効果を有する基板１−２と、基板に形成された光導波路１と、光導波路に電界を印加する制御電極２−１〜２−３，３−１〜３−２とを有する光変調器において、制御電極と基板との熱膨張率の差に起因する応力が光導波路の特定の箇所に集中するのを抑制するため、制御電極の一部に応力緩和手段を設ける。応力緩和手段としては、制御電極を構成する接地電極が所定の面積以上に連続的に形成されている場合には、接地電極の連続性を分断するスリット５を接地電極内に設けるものであり、制御電極が基板上で偏在している場合には、制御電極が不足している箇所にダミー用接地電極６を形成したものである。【選択図】図６ |
