| 摘要 |
【課題】移動体の搬送位置の検出精度を高め、容易に検査を可能とする。【解決手段】実施形態の検査装置は、検査対象である移動体のエッジを検出する領域にレーザ光を照射する照射手段と、レーザ光を照射した領域の被写体に現れるスペックル画像を所定の時間間隔で撮像する撮像手段と、所定の時間間隔で撮像された２つのスペックル画像の画像相関に基いて、スペックル画像内の位置ごとに、被写体の移動量を算出する算出手段と、スペックル画像内の位置ごとに算出された被写体の移動量に基いて、レーザ光を照射した領域における移動体のエッジ位置を検出するエッジ検出手段と、検出されたエッジ位置に基いて、移動体の搬送位置の良否を出力する出力手段とを備える。【選択図】図２ |
