发明名称 Dispensing Apparatus
摘要 본 발명의 디스펜싱 장치는 액상의 합성수지(용액)를 도포하도록, 상기 용액이 저장되는 저장부와, 상기 저장부에 수용된 용액이 토출될 수 있도록 상기 저장부의 하부에 형성되는 노즐과, 상기 저장부에 수용된 용액의 전위를 조절할 수 있도록 상기 노즐에 접속되는 상부 전극과, 상기 저장부에 수용된 용액에 압력을 가할 수 있도록 상기 저장부에 승강 가능하게 설치되는 피스톤을 구비하는 펌프 헤드; 상기 펌프 헤드의 상부 전극과의 사이에 전위차를 형성할 수 있도록 상기 펌프 헤드의 하부에 배치되는 하부 전극; 상기 펌프 헤드의 상부 전극과 상기 하부 전극 사이에 전력을 공급하여 상기 상부 전극과 하부 전극 사이에 전위차를 형성하는 전원 공급 유닛; 및 상기 펌프 헤드의 저장부에 수용된 용액에 압력을 가할 수 있도록 상기 피스톤에 연결되어 상기 피스톤을 승강하는 피스톤 승강 유닛;을 포함하는 점에 특징이 있다.
申请公布号 KR20170015669(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 KR20150107919 申请日期 2015.07.30
申请人 (주)위시스 发明人 강동성;이정우;김진민;이광희
分类号 H01L21/02;H01L21/67 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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