| 摘要 |
複数の電気配線用ランド（５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄ）、複数の電気配線用ランドが配列された基準面から測った高さが複数の電気配線用ランドのそれぞれの高さよりも高く、複数の電気配線用ランドが配列された箇所以外の位置にそれぞれ配置され、それぞれ斜面を有する複数の壁パターン（５３ａ，５３ｂ）を有する下側チップＬＣと、複数の電気配線用ランドの位置にそれぞれ対応して配置された複数の電気配線用バンプ（３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ）、複数の壁パターンの位置に対応して配列された錐状の複数のコーンバンプ（３３ａ，３３ｂ）を有する上側チップＵＣとを備える構造により、０．２μｍ以下の高精度な位置合わせが容易に実現でき、積層した後の接合作業も簡単である積層体及びこの積層体の製造方法を提供する。 |
