電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器および移動体

摘要

【課題】内部空間の減圧度の低下を低減することのできる電子デバイス、この電子デバイスの製造方法、この電子デバイスを備えた信頼性の高い電子機器および移動体を提供する。【解決手段】電子デバイス１は、基板２と、基板２に設けられた振動素子３と、基板２との間に振動素子３を収容する空洞部５を形成するように設けられ、振動素子３と電気的に接続された配線層４３２、４３４を含む蓋部４と、基板２に設けられ、空洞部５の内外を連通する貫通孔２５と、貫通孔２５を塞ぐ封止部８と、を有する。また、貫通孔２５は、振動素子３と重ならないように配置されている。【選択図】図１