| 摘要 |
【課題】検査対象物の高さを含む検査の判定結果の正確性を高める。【解決手段】基準対象物の高さ画像である検査基準画像に対して、検査対象物の高さに関する検査条件を設定するための検査設定手段２５１と、検査対象物をステージ１４０上に載置した状態で、該検査対象物を撮像した検査対象画像に対し、検査設定手段２５１で設定された検査条件を具備するかどうかの画像検査を行う画像検査手段２１６と、画像検査手段２１６に、画像検査の実行を指示するための検査指示手段２５３と、画像検査手段２１６の画像検査により得られた検査結果として、検査対象物が検査条件に合致している場合は、正常、検査対象物が検査条件に合致していない場合は、異常、検査対象物が検査条件に合致しているかどうかを判定できない場合は、検査不能のいずれかを表示し、さらに検査不能の表示は、該検査不能とされた要因に応じて異なる表示を行うための表示部４００とを備える。【選択図】図１ |
