| 摘要 |
【課題】膜が破裂しても高温ガスが圧電型圧力センサのハウジングから環境へ逃げることができない圧電型圧力センサの提供。【解決手段】本発明の圧電型圧力センサは、膜と、圧電センサと、電荷ピックオフと、予応力付与アセンブリとを収容するセンサハウジングアセンブリを備える。膜が圧力プロファイルをとらえ、とらえられた圧力プロファイルによって分極電荷が圧電センサで生成され、予応力付与アセンブリが、予応力付与本体および予応力付与スリーブを備え、圧電センサに対して機械的に予応力を付与し、電荷ピックオフが分極電荷を受ける。電荷ピックオフは、第２の隙間によって予応力付与スリーブから電気的に絶縁され、電荷ピックオフが、予応力付与本体の膜から離れた方向を向く側で第１の電気絶縁体を介して予応力付与本体に機械的に接続され、第２の隙間を環境から圧密にシールする。【選択図】図４ |
