发明名称 流下判定方法、流下判定装置および吐出装置
摘要 【課題】ワークの上方に位置するノズルからワーク上面へ向けて流下する液体の流下状態を、撮像された画像から確実に判定することのできる技術を提供する。【解決手段】ノズルからワークの上面に至る液体の流下経路を撮像視野に含めて撮像を行う工程(ステップS401)と、撮像された画像のうち流下経路に対応する評価対象領域内で、液体の流下方向に沿って1列に並ぶ画素からなる画素列ごとに、当該画素列に属する画素の画素値の合計値を算出する工程(ステップS402、S403)と、流下方向に直交する直交方向に沿った合計値の変化態様に基づき液体の流下の有無を判定する工程(ステップS405〜S407)とを備える。【選択図】図14
申请公布号 JP2017029883(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20150149633 申请日期 2015.07.29
申请人 株式会社SCREENホールディングス 发明人 角間 央章
分类号 B05D3/00;B05D1/40;G06T1/00;H01L21/027;H01L21/306 主分类号 B05D3/00
代理机构 代理人
主权项
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