高アスペクト比構造物の製造方法及び超音波ブローブの製造方法

摘要

【課題】本発明は、ウエットエッチングによって基板の主面に垂直な側面を持つ凹部を有する高アスペクト比構造物の製造方法及び超音波ブローブの製造方法を提供する。【解決手段】高アスペクト比構造物の製造方法は、基板１３ａの一方の主面に、複数の穴を形成する穴形成工程と、穴形成工程終了後、複数の穴が形成された前記主面上に、レジスト層を配設した第１領域と前記レジスト層を配設していない第２領域とを形成するレジスト形成工程と、前記基板１３ａを溶解可能なエッチング液１６中に浸漬させて前記第２領域に対応する前記基板１３ａに凹部１３４を形成する凹部形成工程とを備える。【選択図】図１０