| 摘要 |
【課題】スペースを有効活用することのできる電子デバイス、この電子デバイスを備えた信頼性の高い電子機器および移動体を提供する。【解決手段】電子デバイス１は、基板２と、基板２に設けられた振動素子３と、基板２との間に振動素子３を収容する空洞部５を形成するように基板２に設けられた被覆構造体４と、を有し、被覆構造体４は、振動素子３と電気的に接続された配線層４３２、４３４およびインダクタ６１２を有する。また、被覆構造体４は、空洞部５に接続された連通孔４１ａを有する被覆層４１と、連通孔４１ａを封止するように被覆層４１上に配置され、導電性を有する封止層４２と、を有し、封止層４２に、インダクタ６１２が形成されている。【選択図】図１ |
