感受性材料上にハロゲン化物含有ＡＬＤ膜を統合する方法

摘要

【課題】二重バリア層を基板上に蒸着させるための方法および装置を提供する。【解決手段】二重バリア層は、下層のハロゲン化物感受性層を有害なハロゲン化物含有化学物質から保護するように設計された第１のサブ層１０９ａと、下層の材料を酸化による損傷から保護するように設計された第２のサブ層１０９ｂとを備える。第１のサブ層は、高い炭素含有量を有する層であり、第２のサブ層は、窒化シリコンである。第２のサブ層は、第１のサブ層がなければハロゲン化物感受性材料を損傷するハロゲン化物含有化学物質を用いて蒸着される。結果としての二重バリア層は、高品質な保護を下層材料に提供する。【選択図】図２Ｅ