| 摘要 |
テーパー状にされた導波路構造を用いて光検出器に光を効率的に導く技術及び機構が開示される。一実施形態において、半導体デバイスのテーパー構造は、実質的に単結晶のシリコンを有する。埋込酸化物が、テーパー構造の単結晶シリコンの下に位置して接触し、そして、多結晶シリコンが埋込酸化物の下に配設される。半導体デバイスの動作中に、光がテーパー構造内で向け直され、ゲルマニウム光検出器の第１の側によって受けられる。他の一実施形態において、ゲルマニウム光検出器の向こう側に位置付けられた１つ以上のミラー構造が、光の一部をゲルマニウム光検出器へと反射し返すことをもたらし得る。 |
