| 摘要 |
본 발명은 물리적 기상증착법 및 화학적 기상증착법의 융합에 의한 흑연 또는 탄소/탄소 복합재 표면에 세라믹 소재의 코팅재를 코팅하는 방법에 관한 것으로, 상세하게는, 세라믹 소재의 코팅재를 모재 표면에 물리적 기상증착법(PVD)으로 코팅하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 코팅된 세라믹 소재의 코팅재에 균열을 발생시키는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2에서 발생된 균열의 틈을 세라믹 소재의 코팅재로 화학적 기상증착법(CVD)을 통해 코팅하는 단계(단계 3)를 포함하는 물리적 기상증착법 및 화학적 기상증착법의 융합에 의한 모재 표면에 세라믹 소재의 코팅재를 코팅하는 방법에 관한 것이다. 본 발명을 통해 물리적 기상증착법(PVD) 및 화학적 기상증착법(CVD)의 융합에 의해 흑연 또는 탄소/탄소 복합재 표면에 세라믹 소재의 코팅재를 코팅할 경우, 물리적 기상증착법(PVD)으로 단독으로 코팅할 때보다 고온에서 공정이 수행되는 화학적 기상증착법(CVD)가 더 포함됨으로써, 원자들의 높은 표면 운동성 및 우수한 균열 라인 필링(crack line filling)으로 보다 효과적으로 균열을 치유할 수 있으며, 흑연과 공기간의 접촉을 최소화하여 산화 억제를 크게 향상시킬 수 있다. |
