検出用デバイス、光学的検出用装置及び光学的検出方法

摘要

【課題】光学的検出において、光学系部材に付着したゴミや汚れ等を、効率的に除去する技術を提供する。【解決手段】光学的検出用装置に用いる検出用デバイス１であって、試料を保持する試料保持部１１と、試料保持部１１の少なくとも一部に面し、光学的検出用装置への設置時において光学的検出用装置における光路上に位置する光透過部１２と、を備える本体と、光学的検出用装置における光路上の部材に対向する位置に配置された清掃部１３と、を有する検出用デバイスを提供する。【選択図】図１