| 摘要 |
【課題】本発明は、強酸性洗浄剤および強アルカリ性洗浄剤の両方に対する耐性と、極めて微細な異物の除去能に極めて優れ、回路基板を製造するためのプロセス液の濾過に適する回路基板製造プロセス液用精密フィルタ、当該精密フィルタを含む回路基板製造プロセス液用精密フィルタカートリッジ、および、これら回路基板製造プロセス液用精密フィルタまたは回路基板製造プロセス液用精密フィルタカートリッジにより濾過したプロセス液用いて回路基板を製造するための方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る回路基板製造プロセス液用精密フィルタは、アミノ基を側鎖中に有するテトラフルオロエチレンコポリマー（Ｉ）を含むことを特徴とする。【選択図】なし |
