| 摘要 |
【課題】被試験装置（ＤＵＴ）周囲の領域におけるチャンバ内の環境で結露が発生しないようにする。【解決手段】被試験装置（ＤＵＴ）を試験する環境チャンバ装置と方法であって、ＤＵＴを内部で試験できる環境チャンバを含む。温度センサがＤＵＴの温度を検知し、ＤＵＴの温度を示す信号を生成する。制御器は、チャンバ内の少なくとも温度と湿度のいずれか一方に関する少なくとも１つの入力信号と、ＤＵＴの温度を示す信号とを受け取り、前記チャンバ内の少なくとも温度と湿度のいずれか一方を調節する制御信号を出力し、ＤＵＴの温度がＤＵＴ周囲のチャンバ領域におけるチャンバ内の環境の露点よりも低下せず、ＤＵＴ周囲の領域におけるチャンバ内の環境で結露が発生しないようにする。【選択図】図１ |
