| 摘要 |
【課題】感光性樹脂のパターニング精度および接着信頼性を両立することが可能な電子デバイス、液体噴射ヘッド、および、電子デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】駆動素子としての圧電素子３２を振動板３１の上面に有する圧力室形成基板２９と、感光性樹脂からなる接合樹脂４３により第１の面に接合された封止板３３と、を備え、接合樹脂により、圧力室形成基板と封止板との間に圧電素子３２が収容される空間が形成された電子デバイス１４であって、接合樹脂は、圧力室形成基板における振動板上に形成された第１の樹脂４４と、封止板における第１の樹脂４４と対向する位置形成された第２の樹脂４５とが接合されてなる。【選択図】図３ |
