反射防止膜及び光学部品

摘要

【課題】広帯域で反射防止効果を有し、高温高湿下で膜剥がれのない耐湿性が良好な反射防止膜を提供する。【解決手段】ガラス基板１１２上又は水晶基板上に、高屈折率材料と低屈折材料とが、交互に３層以上１２層以下に積層されてなる多層膜１０１〜１０８上に、ＭｇＦ２層１０９が積層され、このＭｇＦ２層１０９上に、Ｓｉ０２層１１０が最上層として積層される。【選択図】図１