| 摘要 |
【課題】モールドにおける相対的な振動を低減するために有利な技術を提供する。【解決手段】モールドは、変形部と、前記変形部を支持する支持部とを有し、前記変形部は、インプリントによってインプリント材に転写すべきパターンが形成された第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記支持部は、モールド保持機構によって保持される。前記モールド保持機構は、前記第２面とともに第１空間を規定する空間規定部を備え、前記空間規定部は、前記第１空間の圧力を調整するための圧力調整器と前記第１空間とを連通させる第１流路と、前記第１空間とは異なる第２空間と前記第１空間とを連通させる第２流路とを有する。【選択図】図４ |
