| 摘要 |
【課題】被加工材に形成するパターンの精度が高く、耐久性が高いＥＵＶマスク及びその製造方法を提供する。【解決手段】実施形態に係るＥＵＶマスクは、基板と、前記基板上に設けられた第１のライン状部分と、前記基板上に設けられた第２のライン状部分と、前記第１のライン状部分の側面上に配置された第１の側壁と、前記第２のライン状部分の側面上に配置された第２の側壁と、を備える。前記第１及び第２のライン状部分においては、第１材料を含む第１層及び第２材料を含む第２層が積層されている。前記第１及び第２の側壁は、前記第１材料の酸化物を含み、前記第１層の側面及び前記第２層の側面を覆う。【選択図】図２ |
