光電変換素子、光電変換素子の製造方法、固体撮像素子

摘要

【課題】十分に厚い膜厚で、かつ十分に小さい結晶粒径を有する結晶セレン膜を含む光電変換層を有する光電変換素子を提供する。【解決手段】セレンからなる第１結晶セレン膜５ａと、第１結晶セレン膜５ａに接して形成され、塩素、臭素、ヨウ素、アンチモン、タリウムから選ばれるいずれか一種または二種以上の添加元素とセレンとを含み、結晶粒の最大半径が４００ｎｍ以下であり、膜厚が０．１〜５μｍである第２結晶セレン膜５ｂとからなる結晶セレン膜５を含む光電変換層を有する光電変換素子１００とする。【選択図】図１