发明名称 フィルムモールドの製造方法、フィルムモールド製造用基材及び製造用治具
摘要 【課題】歪みが抑制されたフィルムモールドを簡易に製造することができるフィルムモールドの製造方法を提供する。【解決手段】本実施の形態に係る製造方法は、パターン11を有する原版10上に樹脂組成物30を塗布する工程と、樹脂組成物30上に柔軟性を有する転写側基材40を配置するとともに転写側基材40を樹脂組成物30及び原版10に向けて押圧して、原版10のパターン11を樹脂組成物30に転写する工程と、樹脂組成物30を硬化させる工程と、転写側基材40を樹脂組成物30とともに原版10から剥離する工程と、を備える。樹脂組成物30上に転写側基材40を配置する際に転写側基材40の原版10と対向する対向部分41の外周部分42に保護フィルム50を配置する。転写側基材40の剥離後に、樹脂組成物30の食み出し部分80を保護フィルム50とともに転写側基材40から除去する。【選択図】図1
申请公布号 JP2017033992(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20150149669 申请日期 2015.07.29
申请人 大日本印刷株式会社 发明人 吉 岡 英 範
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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