| 摘要 |
【課題】反射面の曲率を検出する光走査装置を提供する。【解決手段】反射面１２ａを有する反射部１と、反射面１２ａを球面状に屈曲させることで反射光の焦点位置を変化させる屈曲部２と、反射部１を中心として反射面１２ａの平面における一方向の両側に延設され、反射部１を両持ち支持すると共に一方向に平行な第１回転軸Ａｒ１周りに揺動可能とする支持梁３と、照射される光の入射角度に応じて変化する光の強度に対応した出力信号を発生させる第１受光素子４と、球面状に屈曲する反射面１２ａの曲率を検出する制御部５と、支持梁３を共振振動させることにより、反射部１を第１回転軸Ａｒ１周りに揺動させる第１の駆動部６と、を備え、第１受光素子４は、反射部１のうち反射面１２ａと共に屈曲する部分の一面側に配置され、制御部５は、第１受光素子４に一定方向の光を照射し、第１受光素子４からの出力信号を用いて、反射面１２ａの曲率を検出する。【選択図】図３ |
