基板搬送装置

摘要

フレームと、フレームに接続され、少なくとも１つの駆動軸を有する駆動セクションと、基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する少なくとも１つのアームであって、伝達リンクによって駆動セクションに接続され、少なくとも１つのアームに対するエンドエフェクタの延伸および後退をもたらす少なくとも１自由度の軸を有する少なくとも１つのアームと、フレームおよびエンドエフェクタに接続され、少なくとも１自由度の軸を定める案内路を画定する軸受けとを含む搬送装置である。