发明名称 フィルムのパターン転写装置およびフィルムのパターン転写方法
摘要 【課題】成型ロールの成形型の形態に応じた形態で、フィルムに樹脂層を形成することが可能なパターン転写装置を提供する。【解決手段】第1のロール31,34と第2のロール32が互いのロール面31a,34a,32aを対向させて配置され、これらのロール間でフィルム2のフィルム面2aに樹脂層22を形成する樹脂層形成部3と、第3のロール41と第4のロール42が互いのロール面41a,42aを対向させて配置され、これらのロール間で樹脂層にパターン21を形成するパターン転写部4とを備え、第1のロールは、樹脂層を形成する樹脂をとどめる凹部310もしくは凸部340をロール面に有し、第4のロールは、樹脂層にパターンを転写により形成する成形型420をロール面に有し、凹部もしくは凸部は、成形型の形態に応じて第1のロールのロール面に形成する。【選択図】 図1
申请公布号 JP2017030188(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20150150579 申请日期 2015.07.30
申请人 東芝機械株式会社 发明人 芹澤 光明
分类号 B29C59/04;H01L21/027 主分类号 B29C59/04
代理机构 代理人
主权项
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