| 摘要 |
平均よりも少ない個数の物品を収容している容器（６）での、パージガスの流量を測定する。測定ユニット（３０）により、棚受のノズルから供給されるパージガスの流量を測定する。測定ユニット（３０）は、基板（３２）と、基板（３２）の底面に配置され、棚受（２０）のノズル（２４）と接触すると基板（３２）からの荷重によりノズル（２４）との間を気密に保ちながらパージガスを導入するガス導入部（３６）と、パージガスの流量を測定する流量計（４０）と電源（４１）とを有する回路部と、基板（３２）に対し上下方向に変位自在で、測定ユニット（３０）の自重の一部を棚受（２０）に支持させる、複数の脚部（３８）とを備えている。 |
