| 摘要 |
【課題】半導体デバイスの歩留まりを向上することができる炭化珪素半導体基板を提供する。【解決手段】半導体基板１０は、主表面１を有し、単結晶炭化珪素からなる半導体基板１０である。主表面１は外周２から５ｍｍ以内の領域を除いた領域である領域３を含んでいる。領域３を一辺が１ｍｍである正方形領域４に分割した場合に、いずれの正方形領域４においても、バーガースベクトルが＜１１−２０＞方向に平行であって、転位線が基底面内にあり、転位線は半導体基板１０の主表面１に露出している転位の密度が１×１０5ｃｍ-2以下である。【選択図】図１ |
