| 摘要 |
本発明は、（ｉ）式（Ｉ）の有機チタン化合物：、式中、Ｒ０、Ｒ１およびＲ２の各々は、他のものと同じであるかまたは他のものと異なり、各々が、独立して、オレフィン不飽和またはアルキニル不飽和を含む有機置換基から選択され、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６およびＲ７の各々は、他のものと同じであるかまたは他のものと異なり、各々が、独立して、Ｈ、Ｃ１−Ｃ１２アルキルおよびオレフィン不飽和またはアルキニル不飽和を含む置換基から選択される、化合物；（ｉｉ）少なくとも１つのトリス（アルキルアミノアルキル）アミンリガンドおよび少なくとも１つのジアルキルアミンリガンドを含み、アルキルがＣ１−Ｃ６アルキルである有機チタン化合物；および（ｉｉｉ）シクロペンタジエニルリガンド、およびシクロペンタジエニル以外の環式ジエニルまたはトリエニルリガンドを含む有機チタン化合物からなる群から選択される有機チタン化合物を提供する。このような有機チタン化合物は、基板上にチタンを蒸着するための蒸着法、例えば、マイクロ電子デバイスおよびマイクロ電子デバイス前駆体構造物の製造に、有用に使用される。 |
