| 发明名称 | 一种复合扫描磁场镀膜机 | ||
| 摘要 | 一种复合扫描磁场镀膜机，它主要是解决现有阴极靶材的利用率低，靶材采购量大，人工投入大等技术问题。其技术方案要点是：包括真空室体、阴极腔体（1）、磁钢部件（2）、横向驱动部件（3）和纵向驱动部件（4），所述阴极腔体（1）和真空室体密封构成溅镀室，所述阴极腔体（1）底部设有靶材槽，磁钢部件（2）安装在阴极腔体（1）内，形成封闭环形磁场，所述阴极腔体（1）上端设有纵向驱动部件（4），纵向驱动部件（4）上端连接横向驱动部件（3），所述磁钢部件（2）连接横向驱动部件（3）。它主要是应用于真空溅射镀膜。 | ||
| 申请公布号 | CN205934011U | 申请公布日期 | 2017.02.08 |
| 申请号 | CN201620838274.2 | 申请日期 | 2016.08.05 |
| 申请人 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 发明人 | 周毅;李国强 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种复合扫描磁场镀膜机，其特征是：它包括真空室体、阴极腔体（1）、磁钢部件（2）、横向驱动部件（3）和纵向驱动部件（4），所述阴极腔体（1）和真空室体密封构成溅镀室，所述阴极腔体（1）底部设有靶材槽，磁钢部件（2）安装在阴极腔体（1）内，形成封闭环形磁场，所述阴极腔体（1）上端设有纵向驱动部件（4），纵向驱动部件（4）上端连接横向驱动部件（3），所述磁钢部件（2）连接横向驱动部件（3）。 | ||
| 地址 | 411100 湖南省湘潭市九华经济区金井路（原大众东路）2号 | ||