振动样品内部反射点的微小振幅测量方法

摘要

本发明提供一种振动样品内部反射点的微小振幅测量方法。利用线阵CCD以采样频率F₀、n次采集弱相干光的m个子相干光的光强信号；对子相干光的光强信号进行傅立叶变换以获取m个、分别对应光强信号的子干涉光信号，且m个子干涉光信号还与样品内不同深度的m个位置点一一对应；将子干涉光信号对应的光强信号与第一阈值比较，当其大于所述第一阈值时，判定第l个子干涉光信号对应的第l个位置点为反射点，根据第l个子干涉光信号获取反射点的振动相位信息；对反射点的振动相位信息进行二次傅立叶变换以获取反射点的振动信号，并根据振动信号获取反射点振动的振幅。本发明提供的方法可测量样品内部的微小振幅，提高了对样品质量检测的准确性。

主权项

一种振动样品内部反射点的微小振幅测量方法，其特征在于，包括：步骤一、利用线阵电荷耦合器件CCD以采样频率F₀、n次采集弱相干光经分光后的m个子相干光的光强信号；所述弱相干光是一宽带光源分别照射到一迈克尔逊干涉仪的振动样品和反射镜、并在所述迈克尔逊干涉仪发生干涉形成的；其中，n为大于或等于10的自然数，m为所述线阵电荷耦合器件CCD的像素单元数；步骤二、对所述n次采集到的mn个子相干光的光强信号进行傅立叶变换以获取n个干涉光信号；第t个所述干涉光信号包括m个、分别对应第t次采集到的m个所述光强信号的子干涉信号；并从所述m个所述子干涉信号中依次提取m/2个、依次与所述样品内按深度从小到大的m/2个位置点一一对应的有效子干涉信号；其中，t取1至n之间的任意整数；步骤三、将第t个所述干涉光信号的所述m/2个所述有效子干涉信号对应的所述光强信号分别与第一阈值比较，当第l个所述有效子干涉信号对应的光强信号大于所述第一阈值时，判定第l个所述有效子干涉信号对应的所述位置点为反射点；根据第t个所述干涉光信号中的第l个所述有效子干涉信号获取所述反射点的振动相位信息；其中，1≤l≤m/2；步骤四、对n个所述干涉光信号中分别对应同一反射点的n个反射点的所述振动相位信息进行第二次傅立叶变换、以获取所述反射点的振动信号，并根据所述振动信号获取在所述采样频率F₀下、所述反射点振动的振幅。