发明名称 一种热处理装置的快速风冷结构
摘要 本发明公开了一种热处理装置的快速风冷结构,快速风冷结构嵌设于保温层中,包括:环状侧部保温块,设于保温层侧壁处,其圆周设有上下贯通的纵向风道,沿纵向风道侧壁设有连通炉膛的多数个径向风道;环状顶部进风保温块,设于保温层顶部处,并与环状侧部保温块上端对应接合,其沿圆周下端设有进风环槽,进风环槽设有连通保温层外部的进风口,进风环槽连通纵向风道;顶部排热保温块,设于保温层顶部处,并与环状顶部进风保温块上端对应接合,其设有连通炉膛及保温层外部的排风口;通过进风口导入冷却气流,依次经进风环槽、纵向风道、径向风道进入炉膛,经换热后由排风口排出,可以对炉膛进行快速降温的强制冷却。
申请公布号 CN106384722A 申请公布日期 2017.02.08
申请号 CN201610968368.6 申请日期 2016.10.28
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 康飞;赵燕平;刘红丽;邱江红
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人 陶金龙;张磊
主权项 一种热处理装置的快速风冷结构,所述热处理装置自内而外设有处理容器、加热器,加热器设有包围处理容器的保温层及敷设于保温层内壁处的加热丝,保温层与处理容器之间的空间构成炉膛,其特征在于,所述快速风冷结构嵌设于保温层中,包括:环状侧部保温块,设于保温层侧壁处,其圆周设有上下贯通的纵向风道,沿所述纵向风道侧壁设有连通炉膛的多数个径向风道;环状顶部进风保温块,设于保温层顶部处,并与环状侧部保温块上端对应接合,其沿圆周下端设有进风环槽,所述进风环槽设有连通保温层外部的进风口,所述进风环槽连通纵向风道;顶部排热保温块,设于保温层顶部处,并与环状顶部进风保温块上端对应接合,其设有连通炉膛及保温层外部的排风口;其中,通过进风口导入冷却气流,依次经进风环槽、纵向风道、径向风道进入炉膛,经换热后由排风口排出,以对炉膛进行快速降温的强制冷却。
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