一种用于饱和石墨舟的夹具

摘要

本实用新型公开了一种用于饱和石墨舟的夹具；其包括本体，本体包括三个盖体，每两个盖体之间均通过连接杆固定连接，三个盖体分别与石墨舟片的承载位旁的三个卡点相对应，盖体在靠近卡点的端面设置有与卡点相配合的凹槽，饱和石墨舟时，凹槽与卡点相配合，盖体靠近卡点的端面与石墨舟片的表面紧密贴合；本实用新型的夹具结构简单，其盖体上的凹槽与卡点相配合，对卡点起到保护作用，可以避免卡点在饱和石墨舟时沉积氮化硅，以增加石墨舟的镀膜使用次数，减少清洗次数，降低了清洗费用。

主权项

一种用于饱和石墨舟的夹具，包括本体，其特征在于，所述本体包括三个盖体(1)，每两个所述盖体(1)之间均通过连接杆(2)固定连接，三个所述盖体(1)分别与石墨舟片(20)的承载位旁的三个卡点(30)相对应，所述盖体(1)在靠近所述卡点(30)的端面设置有与所述卡点(30)相配合的凹槽(11)，饱和石墨舟时，所述凹槽(11)与所述卡点(30)相配合，所述盖体(1)靠近所述卡点(30)的端面与所述石墨舟片(20)的表面紧密贴合。