| 摘要 |
본 발명은 에칭액의 침입을 막을 뿐만 아니라, 피착체에 점착제 잔여물이 발생하지 않는 점착 필름 및 그것을 사용한 화학 연마용 표면 보호 필름을 제공한다. 수지 필름 기재의 한쪽 면에 점착제층을 갖는 화학 연마용 표면 보호 필름으로서, 상기 수지 필름 기재의 두께가 75㎛ 이상이고, 상기 점착제층이 실란 커플링제와 가교제를 함유하는 아크릴계 점착제 조성물을 사용하여 형성되어 이루어지며, 상기 화학 연마용 표면 보호 필름을 유리 기판에 상기 점착제층을 개재하여 첩합한 상태로, 온도 27℃, 농도 15％의 불산 수용액 중에 침지한 후, 피착체인 상기 유리 기판의 피착면의, 상기 화학 연마용 표면 보호 필름의 첩합면의 단부로부터의 거리가 80㎛ 이상인 부분에 적어도 150초 이상에 걸쳐 불산의 침투가 없는 것을 특징으로 한다. |
