| 摘要 |
본 발명에 따른 마이크로 볼로미터 어레이 센서는, 볼로미터 어레이 센서로서, 단위 웜셀은, 서미스터를 포함하는 바디부, 바디부의 모서리로부터 연장된 2개의 레그, 레그의 종단으로부터 각각 연장되는 2개의 앵커 및 자기가열 또는 원격 적외선 신호에 의해 생성된 열을, 자기 혹은 인접하는 웜셀의 앵커로 배출시키는 열전달경로를 포함하고, 단위 웜셀은, 감지셀과 동일한 바디부, 레그 및 앵커 구조를 갖는다. 이에 의하여, 고정패턴 잡음을 월등히 감소시킴으로써, 하드웨어/소프트웨어적 요소, 열전 냉각기, 셔터 등의 추가 설비를 제거하거나 줄일 수 있다. 또한, 자기가열(self-heating)을 상쇄할 수 있는 웜셀 어레이를 스키밍 회로에 이용하기 때문에, 적외선 검출기의 반응도와 동적 범위를 월등히 향상시킬 수 있다. |
