发明名称 Apparatus for Injecting Gas
摘要 본 발명은 배기 배관 사이에 위치하여 상기 배기 배관과 함께 폐가스 통로를 형성하는 가스 분사 장치로서, 중심 축 방향의 일측과 타측으로 개방되는 통로를 형성하며 상기 중심 축 방향과 수직인 방향으로 소정 두께를 갖는 관 형상의 분사 본체와, 상기 분사 본체의 내주면에서 외주면 방향으로 경사지는 제 1 경사면과 상기 제 1 경사면에서 상기 분사 본체의 내주면 방향으로 경사지는 제 2 경사면을 구비하는 분사 유도 홈과, 상기 분사 본체의 내부에서 상기 중심 축을 중심으로 링 형상을 이루도록 형성되며, 상기 제 1 경사면에 인접하여 위치하는 가스 버퍼 통로 및 상기 가스 버퍼 통로로부터 상기 제 1 경사면으로 관통되며, 상기 제 2 경사면 방향으로 분사 가스를 분사하는 홀 형상으로 형성되는 적어도 1 개의 분사 노즐을 구비하는 가스 분사 장치를 개시한다.
申请公布号 KR20170014800(A) 申请公布日期 2017.02.08
申请号 KR20150108699 申请日期 2015.07.31
申请人 (주)나린테크 发明人 한찬희
分类号 H01L21/02;H01L21/67 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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