主权项 |
一种相位法和垂直扫描法兼容的干涉方法,其特征在于:提供适用于光学干涉相位法的干涉轮廓仪,来提供光学相位差干涉系统及使用开环控制系统驱动装置来实现干涉相位差;相位差驱动装置开环控制系统输入电压的校正通过下面的步骤来实现:(1)、通过干涉系统的电压输出装置,独立的电压输出装置,或者集成在相位差驱动装置里来生成一组电压V<sub>n</sub>,n=1,2,…,N,具有已知的电压差,ΔV<sub>n</sub>=V<sub>n+1</sub>‑V<sub>n</sub>;(2)、相位差驱动装置接受电压后产生的微移动导致干涉装置中的参照面与被测表面之间的相对距离变化后,产生对应一组相位差干涉图谱,其相对应的光强<img file="FDA0001153641590000011.GIF" wi="1166" he="63" />其中a是相对应的背景光强,b是干涉图谱的调制振幅,φ是干涉图谱的相位,θ是相位;其中对每一个光强图谱至少有一点具有干涉图谱;而在本步骤中,电压输入到相位差驱动装置的频率高于图谱取样的频率;(3)、由一组光强图谱,计算θ<sub>n</sub>,n=1,2,…,N<maths num="0001"><math><![CDATA[<mrow><msub><mi>θ</mi><mi>n</mi></msub><mo>=</mo><msup><mi>tan</mi><mrow><mo>-</mo><mn>1</mn></mrow></msup><mfrac><mrow><mn>2</mn><msub><mi>I</mi><mrow><mi>n</mi><mo>+</mo><mn>1</mn></mrow></msub><mo>-</mo><mn>2</mn><msub><mi>I</mi><mrow><mi>n</mi><mo>-</mo><mn>1</mn></mrow></msub></mrow><mrow><mn>2</mn><msub><mi>I</mi><mi>n</mi></msub><mo>-</mo><mrow><mo>(</mo><msub><mi>I</mi><mrow><mi>n</mi><mo>+</mo><mn>2</mn></mrow></msub><mo>+</mo><msub><mi>I</mi><mrow><mi>n</mi><mo>-</mo><mn>2</mn></mrow></msub><mo>)</mo></mrow></mrow></mfrac></mrow>]]></math><img file="FDA0001153641590000012.GIF" wi="572" he="127" /></maths>(4)、计算相位差,Δθ<sub>n</sub>=(θ<sub>n+1</sub>‑θ<sub>n</sub>)module 2π,n=1,2,…,N‑1(5)、假设二个相邻的干涉图谱之间的期望相位差恒定值是β和其允许的误差是ε,那么这二个相邻干涉图谱驱动该相位差所需的电压从下面的公式中计算,<maths num="0002"><math><![CDATA[<mrow><msub><mi>ΔV</mi><mi>n</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>n</mi><mi>e</mi><mi>w</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mi>β</mi><mrow><msub><mi>Δθ</mi><mi>n</mi></msub></mrow></mfrac><msub><mi>ΔV</mi><mi>n</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>o</mi><mi>l</mi><mi>d</mi><mo>)</mo></mrow></mrow>]]></math><img file="FDA0001153641590000013.GIF" wi="533" he="127" /></maths>新的电压值V<sub>n</sub>就能由此结合到ΔV<sub>n</sub>(new);本步骤中,针对V<sub>n</sub>的算法需要来转换V<sub>n</sub>到V(t)至使其达到一个V<sub>n</sub>极为接近或等于V(tn)的一个平滑曲线;其中V(t)为采样时间点之间的任意时间点t的电压;V(tn)为每一个采样点对应的采样时间点的电压值;(6)、如果对于所有的n|β‑Δθ<sub>n</sub>|≤ε,保存所有的电压值Vn,校正完成;否则返回步骤(1)重新开始。 |