一种硅烷尾气处理设备

摘要

本实用新型提出了一种硅烷尾气处理设备，包括支撑架和设置在支撑架上的反应罐，所述反应罐的入口端连接有多根硅烷尾气进气管，所述反应罐的出气口连接粉尘分离器，所述粉尘分离器的顶部设置有出风管，所述出风管的侧面设有压缩空气充气口和氮气充气口，所述粉尘分离器的底部连接支撑架的下部的粉尘收集桶。本实用新型的有益效果为：通过反应罐、粉尘分离器和粉尘收集筒配合使用，方便就近处理PECVD机台尾气，可以实现不停机进行清灰的操作，不会造成堵塞；安全又简便，反应产生的粉尘在设备旁边就近处理了，节省成本；操作维护方便，废气处理稳定、高效、彻底。

主权项

一种硅烷尾气处理设备，包括支撑架和设置在支撑架上的反应罐，其特征在于，所述反应罐的入口端连接有多根硅烷尾气进气管，所述反应罐的出气口连接粉尘分离器，所述粉尘分离器的顶部设置有出风管，所述出风管的侧面设有压缩空气充气口和氮气充气口，所述粉尘分离器的底部连接支撑架下部的粉尘收集桶。