发明名称 |
空气流量传感器 |
摘要 |
本实用新型公开了一种空气流量传感器。所述空气流量传感器包括:背面具有空腔的石英衬底;在所述石英衬底正面沿空气流向依次排布环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻;其中,所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻均设置于对应所述空腔的空气流量测量区内;分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极。本实用新型解决了空气流量传感器的精度与环境适应能力不可兼得的问题。 |
申请公布号 |
CN205940665U |
申请公布日期 |
2017.02.08 |
申请号 |
CN201620921043.8 |
申请日期 |
2016.08.22 |
申请人 |
上海微联传感科技有限公司 |
发明人 |
缪建民;陈欣悦 |
分类号 |
G01F1/69(2006.01)I |
主分类号 |
G01F1/69(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
孟金喆;胡彬 |
主权项 |
一种空气流量传感器,其特征在于,包括:背面具有空腔的石英衬底;在所述石英衬底正面沿空气流向依次排布环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻;其中,所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻均设置于对应所述空腔的空气流量测量区内;分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区春晓路439号3号楼2层 |