有机物沉积装置及有机物沉积方法

摘要

公开了有机物沉积装置及有机物沉积方法，该装置包括：主腔室，划分成第一及第二沉积区域，第一基板从中心点沿着第一径向向第一沉积区域引入或从第一沉积区域引出，第二基板从中心点沿着第二径向向第二沉积区域引入或从第二沉积区域引出；第一及第二基板装载部，分别装载第一及第二基板，并分别使第一及第二基板旋转，使得第一及第二基板的一边与虚拟移动线段保持平行，虚拟移动线段为连接由第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；有机物沉积源，配置于主腔室内部，沿着移动线段移动，以位于第一或第二沉积区域，沿着垂直于移动线段的方向移动，以向第一或第二基板的表面喷射有机物粒子。

主权项

一种有机物沉积装置，其特征在于，包括：主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部及第二基板装载部，用于分别装载并安置上述第一基板及上述第二基板，并分别使上述第一基板及上述第二基板旋转，使得上述第一基板及上述第二基板的一边与虚拟的移动线段保持平行，上述虚拟的移动线段为连接由上述第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由上述第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；以及有机物沉积源，配置于上述主腔室的内部，并沿着上述移动线段移动，以位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域，且沿着垂直于上述移动线段的方向移动，以向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射有机物粒子。