| 摘要 |
본 발명은 노광용 광원모듈 유닛을 개시한다. 본 발명에 의한 노광용 광원모듈 유닛은, 다수의 단위 자외선 발광 소자가 회로 기판 상에 매트릭스 형태의 어레이 구조로 실장되어 지지 패널에 탑재되도록 이루어진 광원 패널과, 그 광원 패널과 대면하도록 상기 발광 소자의 광출사측에 배치되는 렌즈 패널에 다수의 단위 집광 렌즈가 상기 발광 소자에 각각 대응되는 위치에서 주광축에 대해 상기 광원 패널 상에 있는 자외선 발광소자 어레이의 중심을 지나는 임의의 기준 중심축선 측으로 편심된 상태의 매트릭스 형태의 어레이 구조로 구비되어 이루어진 광학 패널을 포함하는 구성을 가진다. 이러한 구성에 따르면, 각 단위 자외선 발광소자(UV LED)로부터 조사되는 확산 광이 노광장치의 광학계에 어파쳐(aperture) 형태로 설정되는 수광 영역에 유효하게 집광되어 저소비전력에 의한 광량의 극대화를 도모할 수 있고 특히, 고효율, 고출력의 단일파장, 단파장의 자외선광을 구현함으로서 노광패턴의 미세화와 해상도를 획기적으로 향상시킬 수 있는 노광 성능을 확보할 수 있는 동시에 기존 노광장치의 광원을 실용적이고 경제적으로 대체할 수 있는 효과를 제공할 수 있다. |
