具有柱状晶的锆酸镧薄膜的制备方法及装置

摘要

本发明公开了一种具有柱状晶的锆酸镧薄膜的制备方法及装置。采用镧的有机盐和锆的有机盐作为LCVD的前驱体；所得混合前驱体在原料罐中，于335℃～355℃；并在预热至360℃的管道内将其由Ar气体运载至CVD腔体内；同时O₂通过另一个独立的管路到达CVD腔体内，并与前驱体一起在腔内的喷嘴出口处混合；接着气体混合后以一定的流速喷向基片，此基片已经有一定的预热温度外加波长976 nm的连续激光辐照；最后混合气体在基片表面处遇高温反应，得到LZ沉积在基片上。本发明提供了一种具有柱状晶LZ薄膜的LCVD制备方法，该方法可以以较快的速度、工艺简单、较低的设备成本制备出高质量的柱状晶LZ薄膜，制备出薄膜具有镀膜效率高，镀膜纯度高，膜厚均匀等明显的优点。

主权项

一种具有柱状晶的锆酸镧薄膜的制备方法，其特征在于该方法的具体步骤为：a. 将镧的有机盐和锆的有机盐按（1～1.5）：1的摩尔比搅拌混合均匀，以10～15 ℃/min速度加热至335～355 ℃，得到前驱体气体；然后通入第一载气，载气的流量为：20～50 ml/min；b. 将步骤a的前驱体气体与第一载气的混合气体A与第二载气混合形成混合气体B，该混合气体B再与反应气体混合形成混合气体C，c. 反应基片放置在CVD腔体内的基板座（9）上，通过安装在基板座（9）下的石墨片加热装置对反应基片进行加热，当反应基片的温度达到800～1000 ℃，向反应基片进行激光辐照，并使步骤b所得混合气体C通过喷头喷向反应基片，反应10～20分钟，在基片上生成柱状晶LZ薄膜；所述的第二载气和所述的混合气体B的流量为20～50 ml/min，所述的反应气体的流量为：140～200 ml/min；总压为750～1000 Pa；所述的激光辐照的功率为：0 W至1200 W。