| 摘要 |
본 발명은 유기점토 나노복합체 포함하는 연마패드에 관한 것이다. 본 발명의 연마패드는 포어(pore)의 형성에 따른 물성저하를 방지하여 경도, 인장강도, 연신율 등의 기계적인 물성의 향상과 슬러리에 대한 내화학 특성이 향상되어 CMP 공정 진행시 패드의 수명을 향상시켜 기존 상용화된 패드보다 오래 사용할 수 있으며, 연마효율 및 평탄도를 유지할 수 있고, 다이아몬드 컨디셔닝 공정 후에도 패드의 고유한 특성을 유지할 수 있어 스크래치의 발생가능성을 감소시킨다. |
