| 摘要 |
일 실시예에 따른 그래핀 습식 전사 장치는 둘 이상의 수조를 포함하는 수조 본체와, 수조의 상부에 위치되며, 격벽들에 의해 형성된 하나 이상의 분리 공간을 포함하는 격벽 구조물, 및 격벽 구조물의 하부에 위치되며, 그래핀이 전사되는 타겟기판을 수용하는 하나 이상의 기판 수용홈이 형성된 기판 틀을 포함할 수 있다. 여기서, 수조의 각각에는 습식 전사 공정을 위한 용액이 채워지고, 분리 공간의 각각에는 그래핀의 각각이 용액에 부유된 상태로 서로 분리되어 위치될 수 있다. |
