Apparatus including thermal buffer layer for improving properties of hard thin film and manufacturing method thereof

摘要

본 발명은 기계적 특성이 취약한 장파장 적외선(long wavelength infrared: LWIR) 광학 소재와 내 마모성을 향상시키기 위한 경질 박막 사이의 열 스트레스(thermal stress)를 완화시키기 위한 열 완충층(thermal buffer layer)를 삽입하는 방법을 제공한다. 이러한 열 완충층은 경질 박막의 균열 및 벗겨짐(peeling)을 방지하는 장점을 가진다.