CIGS的Na掺杂方法、及其溅射靶材的制作方法

摘要

本发明提供了一种CIGS的Na掺杂方法、及其溅射靶材的制作方法。CIGS的Na掺杂方法包括以下步骤：制备镓的含钠固溶体，将固溶体与铜、铟以及硒按照所需比例混合，再进行真空熔炼，以获得掺杂Na的CIGS化合物。掺杂Na的CIGS溅射靶材的制备方法包括如下步骤：制备的掺杂Na的CIGS化合物进行粉碎处理，干燥处理后热压处理，热压后冷却至室温，最后以磨床加工成所需形状，从而获得掺杂Na的CIGS溅射靶材。本发明提供的方法可以制备均匀掺杂有Na的CIGS化合物，利用该化合物可以制备高质量的掺杂Na的CIGS的溅射靶材，而且在制备过程中还可以避免各种元素的流失，从而有利于提高太阳能电池的转换效率。

主权项

一种CIGS的Na掺杂方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)利用镓和含钠化合物为原料，制备镓的含钠固溶体，所述含钠化合物包括Na₂Se、Na₂S、Na₂SeO₃中的一种或者多种；(2)将上述固溶体与铜、铟以及硒按照制备CIGS的所需Cu、In、Ga、Se的比例混合以制备混合料；(3)将上述混合料在1100℃至1200℃内进行真空熔炼，以获得掺杂Na的CIGS化合物。