Fluorene derivatives photopolymerization initiator and photoresist composition containing the same
摘要
본 발명은 신규한 플루오렌 유도체, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 플루오렌 유도체는 플루오렌의 9번 위치에 불포화기를 포함하는 플루오렌 골격을 가짐으로써 넓은 범위의 흡수 스펙트럼에서 고 감도를 구현할 수 있는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물을 제공할 수 있다는 장점을 가진다.